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在所有礦物和氧化物中，Cr2O3 是硬度較高的材料之一.它具有極好的化學穩定性、抗高溫性能、摩擦系數小等特點，可作為微電子器件的阻擋層和磨損器件的Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層，以前研究結果表明，Cr2O3氧化鉻陶瓷涂層薄膜耐磨性能好、摩擦系數低4,但硬度低于Cr2O3塊體.

最近幾年,  Bhushan等利用濺射法制備200 nm厚的缺氧Cr2O3薄膜，其硬度值最高為29.5 GPa. Phones等利用濺射法制備出2μm左右厚的Cr2O3薄膜，其硬度值最高達到32GPa.但是，所得薄膜多呈非晶結構，熱處理后，部分Cr2O3膜晶化.